1. সূক্ষ্ম যান্ত্রিক অংশ প্রসেসিং
যখন সূক্ষ্ম অংশগুলির মেশিনিংয়ের নির্ভুলতা ন্যানোমিটারগুলিতে থাকে এবং শেষ পর্যন্ত পারমাণবিক ইউনিটগুলিতে (পারমাণবিক জালাগুলির ব্যবধানটি 0.1 ～ 0.2 ন্যানোমিটার হয়), অতি-সূক্ষ্ম অংশগুলির কাটিয়া পদ্ধতিগুলি আর মানিয়ে নেওয়া যায় না। এটি বিশেষ সূক্ষ্ম অংশগুলির প্রক্রিয়াজাতকরণ পদ্ধতির উপর নির্ভর করা দরকার, যা রাসায়নিক শক্তির প্রয়োগ। , বৈদ্যুতিক রাসায়নিক শক্তি, তাপীয় শক্তি বা বৈদ্যুতিক শক্তি, ইত্যাদি, এই শক্তিগুলি পরমাণুর মধ্যে বন্ধন শক্তিকে ছাড়িয়ে যায়, যাতে ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠের স্থানীয় পারমাণবিকগুলির মধ্যে সংযুক্তি, বন্ধন বা জালির বিকৃতি দূর করতে পারে, যাতে অর্জন করতে পারে অতি জরিমানা প্রক্রিয়াকরণের উদ্দেশ্য। এই ধরণের প্রক্রিয়াকরণের মধ্যে মেকানিকোমিক্যাল পলিশিং, আয়ন স্পটারিং এবং আয়ন রোপন, ইলেকট্রন মরীচি এক্সপোজার, লেজার বিম প্রসেসিং, ধাতু বাষ্পীভবন এবং আণবিক বিম এপিট্যাক্সি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে।
2. সূক্ষ্ম যান্ত্রিক অংশ কাটা
প্রধানত সূক্ষ্ম বাঁক, আয়না নাকাল এবং নাকাল অন্তর্ভুক্ত। সূক্ষ্ম-স্থল একক স্ফটিক ডায়মন্ড টার্নিংয়ের সরঞ্জাম দিয়ে সূক্ষ্ম ল্যাথে মাইক্রো-টার্নিং সঞ্চালিত হয়। কাটার বেধটি প্রায় 1 মাইক্রন। এটি প্রায়শই লৌহঘটিত ধাতব পদার্থ যেমন গোলাকৃতির উপরিভাগ, অ্যাসফেরিক যুদ্ধ পৃষ্ঠের আয়না এবং উচ্চ-চকচকে পৃষ্ঠগুলির সাথে অন্যান্য উচ্চ-নির্ভুলতার অংশগুলির প্রক্রিয়াজাতকরণের জন্য ব্যবহৃত হয়। । উদাহরণস্বরূপ, পারমাণবিক ফিউশন ইনস্টলেশনের জন্য 800 মিমি ব্যাসের সাথে একটি অ্যাস্পেরিক আয়নাটির সর্বাধিক যথার্থতা 0.1 মাইক্রন এবং আরজেড 0.05 মাইক্রনের পৃষ্ঠের রুক্ষতা রয়েছে।
